液中研磨
将超精密抛光的研具工作面和工件浸泡在含磨粒的研磨剂中进行研磨。在充足的加工液中，借助水波效果，利用浮游的微细磨粒进行研磨加工。加工液对磨粒作用部分所产生的热有极好的冷却效果，对研磨时的微小冲击也有缓冲效果，可以得到高质量的镜面。精密齿条
机械化学研磨
机械化学研磨，其加工机理是利用化学反应进行机械研磨，有湿式和干式两种。
用于硅片最终精加工的研磨方法是典型的湿式条件下的机械化学研磨，研磨剂用含有0.01 µm大小的SiO2磨粒的弱碱性胶状水溶液，而与它相配合的研具是表层由微细结构的软质发泡聚氨基甲酸涂敷的人造革。
干式条件下的机械化学研磨，是利用工件与磨粒之间产生化学反应的研磨方法。典型的有用轻质SiO2磨粒的玻璃板研磨蓝宝石。
化学机械抛光
化学机械抛光是一种利用研磨液的腐蚀作用和磨粒的机械作用双重作用的研磨方法。
强调的是化学作用，其首先靠活性抛光剂的化学活性作用，在被加工表面上生成一种化学反应物，然后由磨粒的机械摩擦作用去除表面，它可以得到无机械损伤的加工表面，而且提高了效率。
