低压真空渗碳与高压气淬技术具有无内氧化，表面质量好，变形微小，工艺的稳定性和重复性好，热处理零件综合性能优异，使用寿命长，无污染无公害，耗电少，生产成本低，以及自动化程度高等优点，目前已广泛应用于汽车发动机、汽车变速器、航空发动机及摩托车齿轮等零件的热处理。由于该项技术无论从工艺还是设备上已经很成熟，成为可替代可控气氛渗碳的有效方法。
一、技术
1.低压真空渗碳技术
常规气体渗碳易产生表面内氧化（IGO），在渗层表面薄层内出现非马氏体组织，从而降低齿轮的疲劳性能。低压真空（1333~1.33×10-1Pa）渗碳用于齿轮和结构钢件等，可提高渗碳层质量，表面无内氧化。采用计算机模拟辅助控制的真空渗碳工艺，用较短的处理时间和较少的渗碳气体消耗，保证取得良好的渗碳效果：渗碳层深度偏差≤±0.05mm，表面碳含量均匀度≤±0.05%。用乙炔取代丙烷渗碳已成为真空渗碳的发展趋势。常规渗碳热处理周期较长，该项技术可以实现高温（950~1050℃）渗碳，从而提高渗碳速度。
2.高压气淬技术
齿轮等零件渗碳后在气体中冷却比液体中冷却的均匀，故淬火畸变小。许多气体可用作气淬气体，如氩气、氦气、氢气、氮气及其混合气体。用氮气进行齿轮的气淬，比较经济，目前85%~95%气淬室采用氮气，淬火压力通常为2MPa。高压气淬可通过控制（惰性）气体的压力、流量，改变气体的冷却特性，与钢的过冷奥氏体转变相图相结合，实现好的淬火冷却效果，从而减少齿轮畸变，提高心部强度。
3.低压真空渗碳与高压气淬技术相结合
低压真空渗碳不仅可以有效地避免常规渗碳淬火出现的表面非马氏体等组织缺陷，显著改善齿轮等零件表面质量，而且与高压气体淬火相结合可以显著减少热处理畸变，通过提高渗碳温度可减少处理时间，从而降低能源消耗和气体消耗。因此，真空低压渗碳与高压气淬相结合是当今一种先进的渗碳淬火工艺，可以称之为真正意义上的环保型绿色热处理技术。
